單片旋轉式蝕刻清洗乾燥槽之流體動靜態流場模擬, 均勻性與污染分析及邊界條件最佳化分析 2013/08/19 防災資訊 林志平 本計畫係配合辛耘公司進行單片式旋轉清洗槽之流場數值模擬及最佳化分析，以輔助該公司產品開發工作。